沈阳芯源微电子设备股份有限公司发布公告，公司控股子公司上海芯源微企业发展有限公司于近日收到单笔政府补助款项人民币3,522.00万元，为与收益相关的政府补助。

　　资料显示，芯源微成立于2002年，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。经过20余年的技术发展，公司在巩固传统优势领域的基础上不断丰富产品布局，目前已形成了前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块，产品已完整覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。公司目前在沈阳设有飞云路、彩云路两个生产基地，主要从事后道先进封装、前道涂胶显影、前道物理清洗等产品的研发及产业化，在上海临港设有飞渡路生产基地，主要从事战略新品前道化学清洗机的研发及产业化。

　　2025年，公司实现营业收入19.48亿元，同比增长 11.11%，营业收入保持增长；归属于上市公司股东的净利润0.72亿元，同比降低64.64%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润-0.18亿元，同比降低124.67%，由于相比2024年同期人员成本增长、政府补助减少、计提资产减值准备增加等原因，报告期内净利润出现阶段性下滑。

　　芯源微2026 年第一季度报告显示，报告期内公司营业收入330,586,511.36元，同比增长20.08%；归属于上市公司股东的净利润3,508,887.80元，同比减少24.70。

　　芯源微在其2025年度报告中提到，报告期内，公司前道涂胶显影机产品持续获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单，客户认可度不断提升；公司战略性新产品前道化学清洗机签单表现优秀，高端SPM机台已通过国内头部客户工艺验证，获得国内客户高度认可，目前公司化学清洗机已获得国内多家大客户重复性订单；前道物理清洗机成功获得国内头部客户批量订单，进一步夯实细分市场龙头地位；后道涂胶显影机及单片式湿法设备持续巩固国内领先优势，报告期内，继续获得封装龙头客户批量重复性订单；新产品临时键合机、解键合机、Frame清洗机等已顺利通过多家客户验证，开始进入逐步放量阶段。资料显示，2025年7月，芯源微晶圆清洗机中标京东方硅基微显示项目。

　　2025年3月，芯源微持股5%以上股东先进制造与北方华创签署了《股份转让协议》，将其持有的 19,064,915 股公司股份全部转让给北方华创，占公司当时总股本的9.49%；公司持股5%以上股东中科天盛与北方华创签署了《股份转让协议》，将其持有的16,899,750股公司股份全部转让给北方华创，占公司当时总股本的8.41%。2025年6月，芯源微完成董事会改组，北方华创共取得了4名非独立董事和1名独立董事席位，在公司全部董事和全部非独立董事中均过半数。芯源微由无控股股东、实际控制人变更为有控股股东、实际控制人，控股股东为北方华创（最新资料显示持股比例为17.84%），实际控制人为北京电子控股有限责任公司。