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坐标坪山|“芯”势力崛起!深技大半导体微纳加工中心落成
发布时间:2025-12-30

  近日,深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台落成仪式成功举办,标志着深圳市首个聚焦化合物半导体光电子领域的全链条公共服务平台正式投入运营,是坪山区乃至全市推动半导体产业高质量发展的重要里程碑。

  中国工程院外籍院士、美国工程院院士常瑞华教授,清华大学深圳国际研究生院副院长刘碧录,以及市重大产业投资集团、比亚迪汽车工程研究院等校企代表和业界嘉宾齐聚坪山。

  深圳技术大学党委书记陈秋明、副校长梁永生、邓元龙,深圳市科技创新局党组书记、局长张林,市委教育工委副书记王汝津,市工业和信息化局副局长平原,坪山区委书记赵嘉、区长张茜,区领导王伟燕、杨涛等参加活动。

  平台实力凸显

  填补关键领域空白

  深圳技术大学半导体微纳加工中心与测试平台,是国内高校体系中规模最大、工艺最完整、运营职业化的化合物半导体光电芯片公共服务平台之一。平台建筑面积2600平方米,其中千级、百级及万级洁净区面积达2100平方米,配置120余台套先进工艺与研发设备,构建了覆盖光刻、刻蚀、沉积、封装到测试表征的全流程工艺体系,能够提供“设计—加工—封装—测试”一站式解决方案。

  该平台是深圳市首个同时支撑化合物光电芯片与MEMS传感芯片上游制造的公共平台,其落成有效填补了全市在“光载信息”和“智能传感”半导体芯片领域上游工艺制造公共服务平台的空白。平台以“科研牵引、产业协同、人才培养”为使命,深度融合集成电路与光电芯片学院的科研与教学资源,组建了高水平核心团队,致力于打造国际先进的产学研协同创新高地,为粤港澳大湾区半导体产业突破关键核心技术、加速成果转化提供坚实硬件支撑与专业化服务能力。

  驱动区域发展

  夯实坪山“中国芯”产业根基

  平台的落成,为坪山区打造“硅基半导体集聚区”、强化“中国芯”支柱产业注入了强劲动能。坪山作为深圳最早布局芯片制造的行政区,已构建起涵盖设计、制造、封测、材料及应用的完整产业链,集聚上下游企业超200家,集成电路芯片制造产值占全市比重超过60%。中芯国际、鹏新旭等龙头项目布局深远,累计投资规模巨大。

  此次落成的平台,历经四年精心打造,可为企业提供化合物光电芯片、硅基MEMS芯片的全流程流片服务,近期成功入选广东省中试平台,将有效补强区域半导体中试代工服务环节。它的运营,是坪山区着力构建“技术创新—中试验证—检测认证”全链条平台体系的关键一环,与区内已建成的车规级芯片检测认证中心等平台形成合力,显著提升了产业生态的能级与竞争力。

  坪山区将全力支持该平台面向大湾区开放共享,提供高效公共技术服务,推动创新成果在坪山就地转化,将平台的科研优势转化为现实生产力。为深圳打造“半导体与集成电路产业第三极”贡献核心力量。

  校地协同深化

  共筑产学研融合新生态

  事实上,半导体微纳加工中心的落成,只是坪山深化与深圳技术大学战略合作、布局高能级创新载体的一个缩影。截至目前,全区已集聚高能级创新载体215家,研发投入占GDP比重达11.8%,拥有比亚迪、中芯国际、荣耀等龙头企业,形成以智能车、创新药、中国芯、人工智能为支柱的现代化产业体系。作为扎根坪山的新型应用研究型高校,深圳技术大学的学科布局与坪山“车、药、芯、智”四大主导产业高度契合,这为双方开展深层次产学研融合奠定坚实基础。

  今年10月,坪山区人民政府与深圳技术大学、深圳市投资控股有限公司、深圳市高新区投资发展集团有限公司签署深化战略合作与科技成果转化相关协议,进一步升级战略合作机制,标志着“环大学产业科技创新带”建设正式在深圳坪山启动。合作将重点聚焦人才共育、协同创新、产业共建、金融支持、创新创业等领域,打通人才从校园到产业的输送通道,瞄准产业“卡脖子”技术难题开展有组织科研,推动应用研究、工艺优化与中试验证的无缝衔接,谋划建设更多覆盖“车、药、芯、智”的高能级载体平台,着力构建“政—产—学—研—资—用”一体化合作体系。

  可以预见,随着坪山与深圳技术大学战略合作的持续深化,以及“环大学产业科技创新带”建设的稳步推进,一批批围绕“车、药、芯、智”重点产业需求的高能级载体平台将陆续落地见效,进一步推动创新链、产业链、资金链、人才链深度融合,为坪山建设“创新坪山、未来之城”筑牢根基,为深圳打造具有全球影响力的科技和产业创新高地注入强劲动能。

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